注液过程中(zhōng)，不可(kě)避免的少量電(diàn)解液会被真空泵抽走，而電(diàn)解液对传统的油封式旋片泵带来极大的挑战。

由无油螺杆泵代替传统的油旋片泵，因螺杆泵是无油干泵，避免了油旋片泵因油被污染而使泵失去抽气能(néng)力的现象。

因電(diàn)解液具(jù)有(yǒu)一定的腐蚀性，对螺杆泵过流面进行防腐处理(lǐ)，从而大大延長(cháng)泵的使用(yòng)寿命及维护维修周期。

為(wèi)了使抽气过程中(zhōng)气流的尽可(kě)能(néng)稳定，在真空系统中(zhōng)配置缓冲罐，使得注液过程稳定可(kě)靠。

為(wèi)避免液體(tǐ)对真空泵运行造成的影响，在真空系统中(zhōng)配置汽液分(fēn)离器，使液體(tǐ)与气體(tǐ)得到有(yǒu)效的分(fēn)离。