干式真空泵主要在半导體(tǐ)行业、化學(xué)工(gōng)业、薄膜产(chǎn)业得到应用(yòng)于发展。國(guó)外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导體(tǐ)行业已全部用(yòng)干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导體(tǐ)行业45%以上用(yòng)干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产(chǎn)品的性能(néng)和质(zhì)量。
為(wèi)了满足不同应用(yòng)领域和不同工(gōng)况的要求，國(guó)外有(yǒu)螺杆式真空泵、多(duō)级罗茨真空泵、多(duō)级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。
1、干式真空泵的介绍及原理(lǐ)
上图為(wèi)立式双螺杆干式真空泵，它的吸气和排气原理(lǐ)和大多(duō)数是一样的，是利用(yòng)一对螺杆，在泵壳中(zhōng)作(zuò)同步高速反向旋转而产(chǎn)生的吸气和排气作(zuò)用(yòng)的抽气设备。
干式真空泵工(gōng)作(zuò)时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工(gōng)作(zuò)腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能(néng)抽除含有(yǒu)大量水蒸汽及少量粉尘。
由于螺杆制成变螺距结构，与等螺距结构相比，极限真空更高，而消耗功率更低，具(jù)有(yǒu)节能(néng)，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新(xīn)换代产(chǎn)品。
两年的备品备件是标准的O型圈。从上至下的输送方式能(néng)可(kě)靠地处理(lǐ)夹带液體(tǐ)的湿气及粉尘，并且无需过滤器。
最优化的螺杆外形设计使功率消耗降到最低，简单的设计可(kě)使泵腔在1小(xiǎo)时内在现场全部解體(tǐ)，易于清洗维护。
2、独特的冷却方式
很(hěn)多(duō)泵转子卡死的原因是吸入含有(yǒu)粉尘及结晶的物(wù)质(zhì)、高温发生聚合的物(wù)质(zhì)、热敏性物(wù)质(zhì)的升华造成转子间的缝隙被堵死，另外一个原因是由于長(cháng)期运转，转子会由于热胀冷缩而发生形变，造成泵的卡死。
干式真空泵的冷却方式：
目前市面上的干泵多(duō)用(yòng)夹套冷却水对转子进行冷却。
而有(yǒu)的立式螺杆真空泵的冷却系统更独特，比如在泵内增加了螺杆内部冷却剂冷却及直接气體(tǐ)冷却，很(hěn)好的维持内表面的温度，不至于温度过高或过低，始终维持在一个合适的温度，以防被抽的热敏性物(wù)质(zhì)分(fēn)解，及高温易聚合的物(wù)质(zhì)，比如HCN及MMA生产(chǎn)企业就比较适合。
3、抽除易燃易爆及腐蚀性介质(zhì)怎么办(bàn)？
众所周知，腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的，温度越高腐蚀的速率越快。
一般的真空泵采用(yòng)一些防腐材质(zhì)或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。
但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用(yòng)上述耐腐蚀材料来处理(lǐ)腐蚀性介质(zhì)对无油干式真空泵是不适合的。
此外使用(yòng)铁剂金属高镀镍涂层材质(zhì)，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产(chǎn)生迅速的電(diàn)化學(xué)腐蚀。
那么是不是只要特殊设计能(néng)可(kě)靠地控制温度的设备把腐蚀性介质(zhì)保持在气相状态，没有(yǒu)离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？
答(dá)案是肯定的。该泵应用(yòng)其自身先进的冷却系统，可(kě)以调整泵腔内及转子的温度，使之没有(yǒu)离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。
所以此螺杆干式真空泵转子采用(yòng)不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安(ān)全性能(néng)。
评价爆炸的指标 评价爆炸有(yǒu)两个指标：可(kě)燃物(wù)质(zhì)的闪点及燃点。 因為(wèi)螺杆干式真空泵中(zhōng)的两个螺杆在泵體(tǐ)内没有(yǒu)摩擦，所以不会产(chǎn)生電(diàn)火花(huā)，就没有(yǒu)了火源。 另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物(wù)质(zhì)的燃点难以达到，从而杜绝爆炸！
4、干式真空泵的密封
泵内既无与外界之间的轴封又(yòu)无泵腔与冷却循环水回路之间的密封，因此可(kě)以抽除有(yǒu)毒有(yǒu)害介质(zhì)。
绝大部分(fēn)泵的故障都是由轴封处磨损造成的，而此泵每个轴只有(yǒu)一处无接触密封，不存在由轴封损伤带来的停机，以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里，造成真空环境及排气口污染。
5、控制系统的组成
干式真空系统还具(jù)有(yǒu)最佳的控制系统，有(yǒu)独立的工(gōng)作(zuò)站和总線(xiàn)，能(néng)很(hěn)好的解决了温度、压力、转速、電(diàn)机同步、开停机、阀门开关和泵本身自清洗控制等问题，并且可(kě)能(néng)存在温升的地方都增加了测温点，增强了系统的安(ān)全性，使干泵系统能(néng)适应化工(gōng)、制药里最严苛的环境。
主要由以下三部分(fēn)组成：内置基本驱动模块；数据总線(xiàn)控制柜；冷却液泵的控制和防爆马达控制中(zhōng)心。
6、干式真空泵的特点
有(yǒu)些真空泵是两个電(diàn)机同步驱动，在确保全速和扭矩控制的同时，保证在泵运行时维持无部件相互接触；
无密封设计，确保无泄露；
通过对内表面温度的控制以满足新(xīn)的ATEX防爆条例的要求。
由于能(néng)够维持最小(xiǎo)的内部温度，从而能(néng)控制泵送气體(tǐ)的冷凝和由于腐蚀可(kě)能(néng)造成的损坏效应；轻松的输送腐蚀性介质(zhì)，安(ān)全的输送易燃易爆气體(tǐ)。
1）清洁环保；2）真空度高；3）防腐设计（专利技(jì )术）；4）可(kě)抽除可(kě)凝性气體(tǐ)及少量粉尘气體(tǐ)（专利技(jì )术）；5）特殊轴封设计，杜绝被抽介质(zhì)与润滑系统互相污染；6）防过载设计；7）运转平稳；8）高标准配置；9）附件配置齐全；10）优质(zhì)健全的零配件供应。
7、总结
干式真空泵是未来行业发展的趋势，虽然现在用(yòng)的还不多(duō)，除了价格高原因外，还有(yǒu)用(yòng)户对干式真空泵的了解不到位，看不到带给企业的未来经济效益，但是干式真空泵使工(gōng)作(zuò)容积中(zhōng)无油，因此带来了不少益处。
有(yǒu)些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新(xīn)的ATEX防爆条例的要求。由于能(néng)够维持最小(xiǎo)的内部温度，从而能(néng)控制泵送气體(tǐ)的冷凝和由于腐蚀可(kě)能(néng)造成的损坏效应；轻松的输送腐蚀性介质(zhì)，安(ān)全的输送易燃易爆气體(tǐ)。
适于处理(lǐ)含固體(tǐ)微粒介质(zhì)并且不需要加过滤器。最小(xiǎo)的维护要求，该泵无齿轮箱，同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具(jù)有(yǒu)20,000 小(xiǎo)时平均无故障时间；
完全電(diàn)子智能(néng)化设计，可(kě)以很(hěn)方便地全方位与DCS系统联接，通过Modem联接可(kě)以实现就地和遠(yuǎn)程控制；
辅助模块的模块化设计可(kě)以满足大量的乃至是最苛刻的流程的应用(yòng)；
设计可(kě)以满足不同的压力要求：压力比可(kě)高达 100,000:1 (吸入压力< 0.01 mbar 绝压)；吸气量可(kě)达1,000 m3/h (更大吸气量的泵在开发中(zhōng)，目前可(kě)用(yòng)机械的增压泵与干式泵组合来满足对大的吸气量的要求)；
噪音水平低于75Db(A)（噪音低于高档轿車(chē)内部分(fēn)贝）
维修方便，可(kě)以快速和方便地拆卸和更换泵的内件。
