主要应用(yòng)于半导體(tǐ)产(chǎn)业的干式真空泵会因许多(duō)工(gōng)艺过程的抽气而出现一些颗粒物(wù)，以前用(yòng)PFPE油的油封式机械泵，有(yǒu)油封作(zuò)用(yòng)，因此成了颗粒物(wù)的捕集器，混在油里的颗粒物(wù)过滤除掉，造成维护工(gōng)作(zuò)量加大，运行成本也提高了。

在半导體(tǐ)工(gōng)业中(zhōng)使用(yòng)的气體(tǐ)和反应生成物(wù)都要通过真空泵中(zhōng)，这些物(wù)质(zhì)与空气和湿气混合能(néng)形成氧化物(wù)，有(yǒu)些能(néng)自燃引起爆炸，因此在半导體(tǐ)工(gōng)艺中(zhōng)使用(yòng)的真空泵要经过这些恶劣环境的考验。一般来说，在真空泵中(zhōng)出现颗粒物(wù)有(yǒu)三种情况。

❶ 有(yǒu)时泵内压力增高而引起气固变态过程的发生；

❷ 在泵内气體(tǐ)成分(fēn)的反应生成物(wù)；

❸ 抽气过程混入的颗粒物(wù)。

清洁、耐用(yòng)、低噪等都是干式真空泵的实用(yòng)标签。但在实际的干式真空泵应用(yòng)中(zhōng)，干式真空泵也分(fēn)接触型与非接触型。

因此在处理(lǐ)一些含颗粒物(wù)气體(tǐ)过程中(zhōng)，并不是所有(yǒu)的干式真空泵都如螺杆真空泵、罗茨真空泵等非接触型泵种一样对颗粒气體(tǐ)有(yǒu)良好耐受性，而是需要通过过滤设备来予以解决。

此外即使是对颗粒性气體(tǐ)有(yǒu)良好耐受性的非接触性干式真空泵，為(wèi)防止意外，也需要尽量避免介质(zhì)在真空泵泵内由于化學(xué)反应或气固变相形成颗粒物(wù)。对此，除常规的过滤装(zhuāng)置外，对此总结的做法还包括：

 1、适当提高泵温

物(wù)质(zhì)的升华、凝固是压力与温度的函数，随物(wù)质(zhì)不同各有(yǒu)变化。因此提高泵内温度可(kě)以避免一些介质(zhì)在泵内压缩过程中(zhōng)发生气固变相而形成颗粒物(wù)。

如Al在刻蚀过程中(zhōng)生产(chǎn)的氯化铝，在对应压力下，其在80℃就会开始气化，因此在将泵内温度保持在80℃就可(kě)有(yǒu)效避免氯化铝的固化沉积。

 2、降低反应气體(tǐ)的浓度

单位时间内气體(tǐ)反应生成颗粒数量与气體(tǐ)浓度相关，所以在干式真空泵抽取这类气體(tǐ)的工(gōng)艺中(zhōng)可(kě)以通过充入惰性气體(tǐ)，减少反应气體(tǐ)浓度来降低颗粒物(wù)的形成。

这个方法也会用(yòng)于泵内温度冷却，防止介质(zhì)降解、聚合形成腐蚀性物(wù)质(zhì)等，也可(kě)以防止介质(zhì)达到着火极限等可(kě)能(néng)，如CVD工(gōng)艺中(zhōng)可(kě)能(néng)的爆炸。

 3、增加抽气通道中(zhōng)的气流速度

為(wèi)防止处于悬浮状态的固體(tǐ)颗粒物(wù)沉积，使气體(tǐ)的流动速度大于颗粒物(wù)沉积的临界速度，就可(kě)保证颗粒物(wù)随气流输送排出，防止沉积。

具(jù)體(tǐ)的方法与第2点一样，在不影响真空泵的极限压力的前提下充入适量气體(tǐ)。