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我们知道,半导體(tǐ)、集成電(diàn)路等高科(kē)技(jì )制造工(gōng)艺,都需要在真空环境下才能(néng)完成。同样,锂离子電(diàn)池制造工(gōng)艺也需要在真空下进行。尽管锂离子電(diàn)池制造不要求极高的真空度,但是在電(diàn)池制造过程中(zhōng)要求采用(yòng)高度可(kě)靠的真空设备,所以选择合适的真空泵显得尤為(wèi)重要。许多(duō)第一代電(diàn)池制造设备采用(yòng)安(ān)装(zhuāng)在设备内部或附近的油封式旋片泵,尽