罗茨真空泵的两个转子是通过一对高精(jīng)度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与電(diàn)机联接。
罗茨真空泵被广泛地应用(yòng)于真空获得的各个方面,它延伸了油封机械真空泵在较低入口压力下的工(gōng)作(zuò)范围,具(jù)有(yǒu)小(xiǎo)體(tǐ)积大抽速的特点,在1~100pa入口压力范围内具(jù)有(yǒu)大抽速,特别适合于低入口压力下需要大抽速的真空系统中(zhōng)使用(yòng),例如電(diàn)力变压器、電(diàn)力電(diàn)容器、電(diàn)力互感器的真空干燥、真空浸渍处理(lǐ)、真空热处理(lǐ)、真空冶炼的排气、真空镀膜设备的预抽,大型试验风洞的抽气及照明灯具(jù)生产(chǎn)線(xiàn)的排气等等。
干式螺杆真空泵工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)主要是利用(yòng)齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的 左螺杆与右螺杆作(zuò)高速转动,利用(yòng)泵壳和相互啮合的螺旋桨螺旋槽分(fēn)割成多(duō)个空间、形成 多(duō)个级,气體(tǐ)在相等的各个槽内进行传输运动,
无压缩,只有(yǒu)螺杆末端的螺旋结构才对 气體(tǐ)有(yǒu)压缩的作(zuò)用(yòng)因此螺杆真空泵在半导體(tǐ)、
電(diàn)子工(gōng)业中(zhōng)要求无油洁净真空的场合,以及化工(gōng)制药中(zhōng)对溶剂的回收工(gōng)艺等具(jù)有(yǒu)不可(kě)比拟的优势。另外在变压器干燥过程中(zhōng)旋片泵的换油频繁及寿命问题也可(kě)得到解决。
罗茨泵和干式螺杆泵,二者相似的地方主要體(tǐ)现在应用(yòng)领域上,它们都可(kě)以用(yòng)在真空冻干、電(diàn)力電(diàn)子行业、光伏太阳能(néng)、薄膜蒸发、抽高温气體(tǐ)、抽蒸汽、单晶硅、灯泡灯管制造(气體(tǐ)置换)、焊接炉、核能(néng)工(gōng)业、化工(gōng)、金属工(gōng)业等工(gōng)业领域中(zhōng)。