罗茨泵机组是一种常用(yòng)的真空设备,由罗茨泵和前级泵组成。在机组中(zhōng),前级泵的抽速比与罗茨泵压缩比密切相关。罗茨泵的压缩比很(hěn)有(yǒu)限,这意味着必须根据选取的前级泵容量来确定压缩比。通常情况下,选取2~10之间的压缩比。
预抽时间也是选择前级泵时必须考虑的因素之一。由于真空设备是辅助设备,如果其正常工(gōng)作(zuò)时间遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出预抽时间,可(kě)以使用(yòng)较小(xiǎo)的前级泵,以尽可(kě)能(néng)节约功率。如果真空室较大并且需要快速预抽,则应选择更大的前级泵。
為(wèi)了提高设备效率,机组前面装(zhuāng)有(yǒu)一台较大的预抽泵。在正常工(gōng)作(zuò)后,停止该泵,并使用(yòng)较小(xiǎo)的前级泵来维持真空。这样做可(kě)以有(yǒu)效地节省能(néng)源。
在选取前级泵时还必须考虑极限压力的要求。如果对极限真空度要求较高(达到1×10-3Pa~1×10-2Pa压力),则需要选择双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作(zuò)為(wèi)前级泵。如果极限真空度要求在1×10-2Pa~1×10-1Pa之间,则可(kě)以选择单级油封机械泵作(zuò)為(wèi)前级泵。但如果极限真空度要求只有(yǒu)133~1333Pa,则可(kě)以选用(yòng)往复式真空泵或液环式真空泵作(zuò)為(wèi)前级泵。
当使用(yòng)往复式或液环式粗真空泵作(zuò)為(wèi)罗茨真空泵的前级泵时,应该注意不能(néng)选择过大的前级泵抽速。这样会使压缩比过大,从而导致排气温度高,罗茨真空泵无法正常工(gōng)作(zuò)。
在选择前级泵时还必须考虑被抽气體(tǐ)中(zhōng)是否含有(yǒu)腐蚀性介质(zhì)、可(kě)凝性气體(tǐ),以及其数量大小(xiǎo)等因素。如果被抽气體(tǐ)含有(yǒu)腐蚀性气體(tǐ),则不适宜选择油封机械泵。同时,油封机械泵也不适合用(yòng)于抽除含有(yǒu)大量可(kě)凝性蒸汽的气體(tǐ)。在抽除含有(yǒu)微量可(kě)凝性蒸汽的气體(tǐ)时,需要采用(yòng)带有(yǒu)气镇装(zhuāng)置的油封机械泵作(zuò)為(wèi)前级泵。
為(wèi)了获得低入口压力(1~100Pa)时的高抽气速率,可(kě)以使用(yòng)一台罗茨真空泵作(zuò)為(wèi)另一台罗茨真空泵的前级泵组成三级或四级机组。在这种情况下,罗茨真空泵之间的抽速比通常在2~5之间。