金属密封的超高真空法兰对于需要频繁放入大气更换工(gōng)件的超高真空系统，每次重新(xīn)拆装(zhuāng)容器法兰由于刀(dāo)口压痕的不重合或刀(dāo)口受到损伤，难以确保可(kě)靠地密封，特别是使用(yòng)一次性密封的金属垫圈，在每次打开容器时，都需要更换新(xīn)的法兰密封圈，铝箔密封的法兰，在高温烘烤时往往会因扩散焊而黏附在不锈钢法兰面上难以去除，给更换密封圈带来麻烦，对于极限压力不高于10^-6~10^-7Pa的超高真空系统，可(kě)采用(yòng)氟橡胶密封，并采取相应措施减少橡胶出气速率比金属大的缺点。

    氟橡胶可(kě)承受250~300℃的高温烘烤，在受压的条件下，能(néng)長(cháng)期工(gōng)作(zuò)在125℃。它比常用(yòng)的丁腈橡胶出气速率低。

    尽量采用(yòng)截面直径较小(xiǎo)的O形橡胶圈，在密封槽设计时，选用(yòng)两法兰能(néng)压紧在一起使暴露在真空侧橡胶面积最小(xiǎo)的结构设计。常用(yòng)的O形橡胶圈密封槽尺寸如下图所示，胶圈的压缩量為(wèi)O形圈截面直径的30%，槽宽至少是O形圈截面直径的1.4倍，O形圈的内径应略小(xiǎo)于密封槽的内径，装(zhuāng)配后可(kě)使橡胶圈紧贴在密封槽内，O形圈向外有(yǒu)足够的横向变形空间，两个法兰平面紧压在一起可(kě)将O形圈全部压入密封槽内而不会从槽中(zhōng)挤压出来。為(wèi)便于加工(gōng)，密封槽底面角可(kě)加工(gōng)成半径等于O形圈截面直径1/5圆角，密封面的粗糙度至少要达到1.6μm(最好為(wèi)0.8μm)，槽的外部边沿倒角0.13mm，并需修整光洁避免装(zhuāng)配时划伤O形圈。

O形橡胶圈密封槽尺寸

    降低橡胶密封圈的温度或采用(yòng)中(zhōng)间抽气的双道密封圈，能(néng)有(yǒu)效地降低橡胶的出气速率和漏气率。